山東省棗莊市電子廠潔凈環(huán)境檢測第三方檢測--天津中達(dá)檢測濟(jì)南分公司   噪聲控制： 動(dòng)態(tài)檢測時(shí)，萬級無塵室內(nèi)的噪音級不得出70分貝A。 靜態(tài)檢測時(shí)，萬級亂流無塵室的噪音級不能出60分貝A。

目前對于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)車間空調(diào)系統(tǒng)具有以下特點(diǎn)：1、大規(guī)模集成電路工藝布置多采用開放環(huán)境結(jié)合微環(huán)境的方法，在保證產(chǎn)品質(zhì)量的同時(shí)，還可達(dá)到減少建設(shè)投資、降低運(yùn)行費(fèi)用的目的。2、對于空氣潔凈度等級為1-5級時(shí)，基本上采用單向流或混合流；空氣潔凈度等級為6-9級時(shí)，基本上采用非單向流。3、為有效降低能耗、降低空氣處理時(shí)冷熱抵消現(xiàn)象，對于新風(fēng)系統(tǒng)常采用集中處理形式。

電子廠潔凈環(huán)境檢測 若潔凈室（區(qū)）運(yùn)行中已對粒子濃度、風(fēng)速、靜壓差進(jìn)行連續(xù)監(jiān)測，且其測試值均符合本規(guī)范要求時(shí)，的測試時(shí)間間隔可延長。具體間隔時(shí)間，可與單位洽商已安裝過濾器泄露、氣流流型目測、照度，所有潔凈度等級，建議*長時(shí)間間隔24月、溫度、相對濕度，所有潔凈度等級，建議*長時(shí)間間隔12月、自凈時(shí)間、密閉性，建議*長時(shí)間間隔＞24月、噪聲，建議*長時(shí)間間隔＞12月

電子車間凈化工程-對半導(dǎo)體、微電子、光電技術(shù)、光學(xué)儀器、PCB、LEDLCD、SMT等電子產(chǎn)品工藝要求，電子車間凈化級別從 10級，100級，1000級，萬級。凈化的程度也直接影響了電子產(chǎn)品的質(zhì)量。

因?yàn)閮艋こ痰臋z測主要關(guān)注兩種粒徑，即0.5um和5um。等速采樣對≤0.5um的顆粒影響不大。如果采樣空氣用于計(jì)算大于或等于 0.5um 的粒徑濃度，如果這些粒子不受等速條件的影響，則計(jì)算結(jié)果不受影響。因此潔凈室區(qū)域非等速采樣只對大于等于0.5um的顆粒有意義。  在電子潔凈廠房高能效過濾器的應(yīng)用上，電子凈化工程嚴(yán)格依照規(guī)定在潔凈度10萬級或高于10萬級以上的空氣凈化處理，應(yīng)采用初效、中效、高能效過濾器的三個(gè)等級過濾。而我們在某潔凈工程驗(yàn)證過程中，某電子潔凈廠房工程在萬級的凈化級別上，采用亞高能效空氣過濾器代替高能效空氣過濾器，造成了潔凈度不合格，*終更換了高能效過濾器，才符合需要達(dá)到的標(biāo)準(zhǔn)。

電子廠潔凈環(huán)境檢測  對于無塵室內(nèi)的換氣次數(shù)一般要求為:人均每小時(shí)換氣5次以上;人均每小時(shí)新風(fēng)量30立方米以上;每人每小時(shí)換風(fēng)量10立方米以上;每平方米允許噪聲強(qiáng)度85分貝以下(a計(jì)權(quán));溫濕度波動(dòng)小;光照度適宜等等。氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌。等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化 重復(fù)以上過程，即可達(dá)到凈化目的。換氣次數(shù)：100000級≥15次；10000級≥20次；1000≥30次。壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa平均風(fēng)速：10級、100級0.3－0.5m/s；溫度 冬季＞16℃；夏季 ＜26℃；波動(dòng)±2℃。溫度45－65％；GMP粉劑車間濕度在50％左右為宜；電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。噪聲≤65dB（A）；新風(fēng)補(bǔ)充量是送風(fēng)量的10％－30％；照度300LX。

二、檢測周期：空氣潔凈度等級、靜壓差、風(fēng)速或風(fēng)量的測試的*長時(shí)間檢測間隔；空氣潔凈度等級1-5級，*長時(shí)間間隔6個(gè)月；空氣潔凈度等級6-9級，*長時(shí)間間隔13個(gè)月；風(fēng)速或風(fēng)量，*長時(shí)間檢測12個(gè)月；靜壓差，*長時(shí)間間隔12個(gè)月；

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