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ULVAC愛(ài)發(fā)科 油式旋轉(zhuǎn)真空泵 GCD-051X
2025/07/04 13:59:26
ULVAC愛(ài)發(fā)科 油式旋轉(zhuǎn)真空泵 GCD-051X
ULVAC愛(ài)發(fā)科 油式旋轉(zhuǎn)真空泵 GCD-051X
油旋轉(zhuǎn)真空泵是一種容積式真空泵,它使用油來(lái)減少轉(zhuǎn)子、定子和滑動(dòng)葉片等部件之間的機(jī)密和不可用空間。 它也被稱為旋轉(zhuǎn)泵。
油旋轉(zhuǎn)真空泵通過(guò)使用真空泵油使旋轉(zhuǎn)部件的運(yùn)動(dòng)平穩(wěn),并通過(guò)真空密封提高氣密性,從而實(shí)現(xiàn)高排氣性能。 此外,它是*效的泵類型,可以在大氣壓到高真空范圍內(nèi)有效運(yùn)行,是一種高度可靠的泵,可提供穩(wěn)定的泵送性能。
它是一種使用潤(rùn)滑油的旋片式真空泵。 它是一種高性能、低噪音和可靠的真空泵。
長(zhǎng)處
一種化學(xué)型油旋轉(zhuǎn)真空泵,對(duì)氣體接觸部分的表面進(jìn)行了表面處理。
可連接到油過(guò)濾系統(tǒng)。
低噪音、低振動(dòng)。
防止回流機(jī)構(gòu)在因停電而停止真空室時(shí)抑制油回流到真空室中。
通過(guò)安裝強(qiáng)制潤(rùn)滑機(jī)構(gòu)來(lái)穩(wěn)定抽速。
它可以在大氣壓下運(yùn)行。
由于內(nèi)部零件通過(guò)敲擊銷和法蘭電機(jī)連接,易于維護(hù)。
規(guī)范
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2. 核心技術(shù)及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務(wù)涵蓋:
真空設(shè)備:干式真空泵、分子泵、真空測(cè)量?jī)x器等。
鍍膜技術(shù)(PVD/CVD):用于半導(dǎo)體、光學(xué)薄膜、太陽(yáng)能電池等。
半導(dǎo)體制造設(shè)備:濺射設(shè)備、蝕刻設(shè)備、封裝設(shè)備等。
分析測(cè)試儀器:X射線光電子能譜儀(XPS)、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術(shù):OLED蒸鍍?cè)O(shè)備、鋰電薄膜設(shè)備等。