渦旋式干泵

渦旋式干式真空泵是通過螺旋定子和轉子的聯(lián)合運動來排氣的干式真空泵。
用途廣泛，包括真空干燥設備、理化分析設備、真空吸附輸送設備、真空熱處理爐等。

渦旋式干式真空泵由兩個形狀相同的渦旋體組成，渦旋體的中心稍微偏移，使它們的壁彼此線接觸，從而一側相對于另一側進行搖擺運動，其結構是這樣的。被困在月牙形空間中的氣體被向中心壓縮并從中心的孔排出。 壓縮過程通常設計為發(fā)生兩次或多次，從而產生較低的振動和噪音。極限壓力可達1Pa。

渦旋式干泵Model:DIS-501

?雙繞式渦旋泵、含1根軌道螺旋和2根固定螺旋。
?可在大氣壓下實現(xiàn)操作運行。
?可實現(xiàn)高極限真空。
?低振動低噪音。
?維護周期可通過計時表控制。

特點

• 結構緊湊，排氣量大。

• 干式真空泵的*壓力水平。

• 內置自動復位型熱保護器（單相用）安全設計。。

• 通過空氣沖洗抑制水分凝結。。

用途

• 分析設備

• 氣體回收系統(tǒng)

• 涂裝設備

• TMP的背泵

• 氦氣檢漏儀

• 半導體制造工藝

使用上的注意

１	粉末和生成物吸入會導致泵損壞。 請使用吸氣阱。
２	吸入有害氣體如爆炸性氣體，易燃氣體，有毒氣體，腐蝕性氣體，有機溶劑氣體等，可能會因氣體本身，爆炸或火災而導致泵故障。
３	三相規(guī)格沒有電機保護功能。 請務必安裝保護裝置，如漏電斷路器。

尺寸圖

DIS-501（Single phase）

DIS-501（Three phase）

排氣速度曲線