山東省淄博市制造業(yè)電子廠潔凈室檢測(cè)單位--天津中達(dá)檢測(cè)濟(jì)南分公司   在對(duì)車(chē)間進(jìn)行潔凈度檢測(cè)時(shí)，檢測(cè)電子廠凈化工程潔凈度方法，趕緊來(lái)閱讀！一、檢測(cè)儀器的選擇:對(duì)于無(wú)塵凈化車(chē)間潔凈度的測(cè)量，可以使用凈化工程光散射粒子計(jì)數(shù)器、凝聚核粒子計(jì)數(shù)器、電子顯微鏡和光學(xué)顯微鏡。由于這種粒子計(jì)數(shù)器可以自動(dòng)、連續(xù)、及時(shí)地測(cè)量使用中室內(nèi)空氣的含塵量，并能直接顯示瞬時(shí)含塵濃度，因此還可以測(cè)量不同粒徑的含塵濃度。簡(jiǎn)單、方便、及時(shí)、靈活。

　　100級(jí)潔凈手術(shù)室：手術(shù)室嚴(yán)格控制，采用MAUAHU系統(tǒng)，送風(fēng)吊頂3m*3m，千級(jí)凈化級(jí)別，驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)為靜態(tài)檢查，動(dòng)態(tài)驗(yàn)收溫度、濕度、CFU。一般情況之下，患者在手術(shù)之中的感染率是25%，據(jù)統(tǒng)計(jì)，目前手術(shù)感染率為10%-15%，很多醫(yī)院把日常手術(shù)的傳染率作為手術(shù)室凈化工程的良好指標(biāo)。

制造業(yè)電子廠潔凈室檢測(cè) 2、檢測(cè)點(diǎn)：根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)，檢測(cè)凈化車(chē)間潔凈度時(shí)，檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)在距室內(nèi)地面水平面1.00m以內(nèi)；單向流式無(wú)塵凈化車(chē)間，測(cè)點(diǎn)數(shù)不應(yīng)少于20個(gè)，測(cè)點(diǎn)間距為0.5 -2.0m。水平單向流量測(cè)點(diǎn)僅無(wú)布置；非單向流式無(wú)塵凈化車(chē)間按無(wú)塵凈化車(chē)間面積小于等于50m2布置5個(gè)測(cè)點(diǎn)。3、關(guān)于等速采樣：等速采樣是指在檢測(cè)過(guò)程中，粒子計(jì)數(shù)器的采樣管入口方向與被采樣單向氣流的方向一致，進(jìn)入采樣管入口的空氣平均流速與該位置單向氣流的平均速度。

目前對(duì)于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)車(chē)間空調(diào)系統(tǒng)具有以下特點(diǎn)：1、大規(guī)模集成電路工藝布置多采用開(kāi)放環(huán)境結(jié)合微環(huán)境的方法，在保證產(chǎn)品質(zhì)量的同時(shí)，還可達(dá)到減少建設(shè)投資、降低運(yùn)行費(fèi)用的目的。2、對(duì)于空氣潔凈度等級(jí)為1-5級(jí)時(shí)，基本上采用單向流或混合流；空氣潔凈度等級(jí)為6-9級(jí)時(shí)，基本上采用非單向流。3、為有效降低能耗、降低空氣處理時(shí)冷熱抵消現(xiàn)象，對(duì)于新風(fēng)系統(tǒng)常采用集中處理形式。

10萬(wàn)凈化車(chē)間有以下標(biāo)準(zhǔn)，中標(biāo)凈化工程整塵埃粒子*允許數(shù)（每立方米）：等于0.5微米的粒子數(shù)不能出3500000個(gè)，大或等于5微米的粒子數(shù)不能出20000個(gè)； 微生物*允許數(shù)（每立方米）：浮游菌數(shù)不能出500個(gè)；菌數(shù)不能出10個(gè)每培養(yǎng)皿。壓差：相同潔凈度等級(jí)的潔凈車(chē)間壓差保持一致，對(duì)于不同潔凈等級(jí)的相鄰潔凈車(chē)間之間壓差要≥5Pa，潔凈車(chē)間與非潔凈車(chē)間之間要≥10Pa。10萬(wàn)級(jí)凈化車(chē)間工作環(huán)境規(guī)定： 10萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室對(duì)溫度、濕度無(wú)特殊要求時(shí)，以穿著潔凈服不產(chǎn)生舒適感為宜，溫度一般控制在秋冬季20~22℃；春夏季24~26℃；波動(dòng)±2℃。秋冬季潔凈車(chē)間空氣濕度控制在30-50%，春夏季潔凈車(chē)間空氣濕度控制在50-70%。  二、檢測(cè)周期：空氣潔凈度等級(jí)、靜壓差、風(fēng)速或風(fēng)量的測(cè)試的*長(zhǎng)時(shí)間檢測(cè)間隔；空氣潔凈度等級(jí)1-5級(jí)，*長(zhǎng)時(shí)間間隔6個(gè)月；空氣潔凈度等級(jí)6-9級(jí)，*長(zhǎng)時(shí)間間隔13個(gè)月；風(fēng)速或風(fēng)量，*長(zhǎng)時(shí)間檢測(cè)12個(gè)月；靜壓差，*長(zhǎng)時(shí)間間隔12個(gè)月；

制造業(yè)電子廠潔凈室檢測(cè)  潔凈室測(cè)定的程序大致如下:風(fēng)機(jī)空吹→室內(nèi)清掃→調(diào)整風(fēng)量→裝中效過(guò)濾器→安裝高效過(guò)濾器→系統(tǒng)運(yùn)行→高效過(guò)濾器檢漏→調(diào)整風(fēng)量→調(diào)整室內(nèi)靜壓差→調(diào)整溫濕度→單相流潔凈室截面平均速度、速度不均勻的測(cè)定→室內(nèi)潔凈度測(cè)定→室內(nèi)浮游菌和沉降菌的測(cè)定→生產(chǎn)設(shè)備有關(guān)的工作和調(diào)整。

因?yàn)閮艋こ痰臋z測(cè)主要關(guān)注兩種粒徑，即0.5um和5um。等速采樣對(duì)≤0.5um的顆粒影響不大。如果采樣空氣用于計(jì)算大于或等于 0.5um 的粒徑濃度，如果這些粒子不受等速條件的影響，則計(jì)算結(jié)果不受影響。因此潔凈室區(qū)域非等速采樣只對(duì)大于等于0.5um的顆粒有意義。

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