臨沂市電子廠萬級無塵車間潔凈檢測第三方檢測報告--天津中達檢測濟南分公司   電子無塵車間后，為電子無塵車間空調(diào)凈化系統(tǒng)軟件的電加熱器出示空氣清新和過熱關(guān)閉電源維護(假如應(yīng)用點增濕器，應(yīng)出示沒有水維護)。嚴(yán)寒氣溫地區(qū)應(yīng)是新鮮空氣系統(tǒng)出示防寒保障措施。 性能無塵車間能夠為電子芯片的生產(chǎn)制造和生產(chǎn)制造造就高度清理的環(huán)境。只能在這類環(huán)境下，才可以確保電子芯片的生產(chǎn)安全。

電子潔凈廠房是屬于企業(yè)里資金投入特別大的部分，潔凈廠房凈化無塵車間建設(shè)完成后，能否達到設(shè)計目的(滿足產(chǎn)品工藝生產(chǎn)要求，符合GMP的要求),需要通過實踐檢則來確認(rèn)故數(shù)據(jù)。

電子廠萬級無塵車間潔凈檢測 噪聲測量要求:高度距離地面約1.2米,潔凈室面積在15平方以下者,可只測室中心1點;面積在15平方米以上,還應(yīng)再測對角4點,距側(cè)墻各1米,測點朝向各角

目前對于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)車間空調(diào)系統(tǒng)具有以下特點：1、大規(guī)模集成電路工藝布置多采用開放環(huán)境結(jié)合微環(huán)境的方法，在保證產(chǎn)品質(zhì)量的同時，還可達到減少建設(shè)投資、降低運行費用的目的。2、對于空氣潔凈度等級為1-5級時，基本上采用單向流或混合流；空氣潔凈度等級為6-9級時，基本上采用非單向流。3、為有效降低能耗、降低空氣處理時冷熱抵消現(xiàn)象，對于新風(fēng)系統(tǒng)常采用集中處理形式。

潔凈室測定的程序大致如下:風(fēng)機空吹→室內(nèi)清掃→調(diào)整風(fēng)量→裝中效過濾器→安裝高效過濾器→系統(tǒng)運行→高效過濾器檢漏→調(diào)整風(fēng)量→調(diào)整室內(nèi)靜壓差→調(diào)整溫濕度→單相流潔凈室截面平均速度、速度不均勻的測定→室內(nèi)潔凈度測定→室內(nèi)浮游菌和沉降菌的測定→生產(chǎn)設(shè)備有關(guān)的工作和調(diào)整。  溫濕度檢測要在氣流均勻性檢測之后和空調(diào)系統(tǒng)調(diào)整之后進行。進行這項檢測時,空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)充分運轉(zhuǎn),各項狀況已經(jīng)穩(wěn)定。每個濕度控制區(qū)至少設(shè)置一個濕度傳感器,并且給傳感器充分的穩(wěn)定時間。所做測量應(yīng)適合實際使用的目的,待傳感器穩(wěn)定之后才開始測量,測量時間不少于5分鐘。

電子廠萬級無塵車間潔凈檢測  因為凈化工程的檢測主要關(guān)注兩種粒徑，即0.5um和5um。等速采樣對≤0.5um的顆粒影響不大。如果采樣空氣用于計算大于或等于 0.5um 的粒徑濃度，如果這些粒子不受等速條件的影響，則計算結(jié)果不受影響。因此潔凈室區(qū)域非等速采樣只對大于等于0.5um的顆粒有意義。

噪聲測量要求:高度距離地面約1.2米,潔凈室面積在15平方以下者,可只測室中心1點;面積在15平方米以上,還應(yīng)再測對角4點,距側(cè)墻各1米,測點朝向各角

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