層流凈化電子廠廠房潔凈度檢測內(nèi)容和方法--天津中達(dá)檢測濟(jì)南分公司   電子制造業(yè)廠潔凈室檢測要求潔凈度等級、風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)等按需要進(jìn)行控制。潔凈室的照度和截面風(fēng)速按設(shè)計或規(guī)范控制。另外，這類潔凈室對靜電的要求非常高。嚴(yán)格的。其中，對濕度的要求更為嚴(yán)格。因?yàn)樵谶^于干燥的廠房內(nèi)容易產(chǎn)生靜電，會損壞CMOS集成度。

因?yàn)閮艋こ痰臋z測主要關(guān)注兩種粒徑，即0.5um和5um。等速采樣對≤0.5um的顆粒影響不大。如果采樣空氣用于計算大于或等于 0.5um 的粒徑濃度，如果這些粒子不受等速條件的影響，則計算結(jié)果不受影響。因此潔凈室區(qū)域非等速采樣只對大于等于0.5um的顆粒有意義。

電子廠廠房潔凈度檢測  千級無塵車間的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)是0.5微米的*容許粒子濃度小于35200（pc/m3),5微米的*容許粒子濃度小于2930(pc/m3)；百級車間的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)是每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下。可以看出潔凈度等級越高的車間，標(biāo)準(zhǔn)也更高，要求車間內(nèi)的塵埃粒子數(shù)量更少，這樣無塵車間才能更潔凈。

10萬級室內(nèi)空氣參數(shù)需求： 1.新風(fēng)量大。由于這類車間內(nèi)，人員比較多，能夠依據(jù)以下數(shù)值應(yīng)取下列的*值：非單向流潔凈室送風(fēng)量的10-30%;補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和堅持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量；確保室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量≥40m3 /h。

十萬級車間的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)是大或等于0.5微米的粒子數(shù)不得過3500000個，大或等于5微米的粒子數(shù)不得過20000個；萬級車間的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)是直徑大于等于0.5μ的塵粒數(shù)不能過350000個，直徑大于5μ的塵粒數(shù)不能過2000個；  在電子潔凈廠房高能效過濾器的應(yīng)用上，電子凈化工程嚴(yán)格依照規(guī)定在潔凈度10萬級或高于10萬級以上的空氣凈化處理，應(yīng)采用初效、中效、高能效過濾器的三個等級過濾。而我們在某潔凈工程驗(yàn)證過程中，某電子潔凈廠房工程在萬級的凈化級別上，采用亞高能效空氣過濾器代替高能效空氣過濾器，造成了潔凈度不合格，*終更換了高能效過濾器，才符合需要達(dá)到的標(biāo)準(zhǔn)。

電子廠廠房潔凈度檢測  電子凈化廠注意要點(diǎn)：防止灰塵、防靜電、防止負(fù)壓；集成電路生產(chǎn)（分為光掩膜、前道工序、后道工序），顯示器生產(chǎn)（分為LCD，PDP,TFT,VFD,顯像管），硅材料 生產(chǎn)（單晶硅、多晶硅），光纖生產(chǎn)，制卡業(yè)，表面貼裝（SMT），分離器件生產(chǎn)（功率一、二、三級管，電容、電阻），整機(jī)組裝生產(chǎn)（機(jī)頂盒、數(shù)字投影儀、電子數(shù)碼相機(jī)），自控元器件生產(chǎn)（傳感器、執(zhí)行機(jī)構(gòu)）等。微電子工業(yè)是當(dāng)前對潔凈室要求較高工業(yè)潔凈業(yè)-如現(xiàn)代工業(yè)中的液晶、光纖等的生產(chǎn)，同樣均有潔凈度的要求。

10萬級無塵室主要采用的送風(fēng)方式： 1.局部孔板頂棚送風(fēng)； 2.帶擴(kuò)散板高效空氣過濾器頂棚送風(fēng)； 3.上側(cè)墻送風(fēng)等三種送風(fēng)方式。10萬級無塵室主要采用的回風(fēng)方式： 1.單側(cè)墻下部布置回風(fēng)口； 2.當(dāng)采用過道回風(fēng)時，在過道內(nèi)均勻布置回風(fēng)口或在過道端部集中設(shè)置回風(fēng)口。

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