ULVAC的真空角閥（L型閥）統(tǒng)一采用SUS材質(zhì)，除現(xiàn)行的JIS法蘭規(guī)格外，還配備ISO法蘭，可以通過雙作用、單作用氣缸以及手動、連接法蘭有 4 種類型，尺寸范圍從 16A（5/8 英寸）到 900A（36 英寸），可滿足廣泛的需求。