濟南市電子行業(yè)廠房凈化檢測單位--天津中達檢測濟南分公司   目前對于大規(guī)模集成電路生產車間空調系統(tǒng)具有以下特點：1、大規(guī)模集成電路工藝布置多采用開放環(huán)境結合微環(huán)境的方法，在保證產品質量的同時，還可達到減少建設投資、降低運行費用的目的。2、對于空氣潔凈度等級為1-5級時，基本上采用單向流或混合流；空氣潔凈度等級為6-9級時，基本上采用非單向流。3、為有效降低能耗、降低空氣處理時冷熱抵消現(xiàn)象，對于新風系統(tǒng)常采用集中處理形式。

因為在過于干燥的廠房內容易產生靜電，會損壞CMOS集成度。一般來說，電子車間的溫度應控制在22℃左右，相對濕度應控制在50-60之間（特殊潔凈車間有相關溫濕度規(guī)定）。此時，能有效消除靜電，讓人心情舒暢。芯片生產車間、集成電路潔凈室和磁盤制造車間是電子制造潔凈室的重要組成部分。

電子行業(yè)廠房凈化檢測 10萬級無塵室主要采用的送風方式： 1.局部孔板頂棚送風； 2.帶擴散板高效空氣過濾器頂棚送風； 3.上側墻送風等三種送風方式。10萬級無塵室主要采用的回風方式： 1.單側墻下部布置回風口； 2.當采用過道回風時，在過道內均勻布置回風口或在過道端部集中設置回風口。

電子廠房潔凈室空氣潔凈度檢測項目：凡潔凈室檢測中所用的一切儀器設備必須按規(guī)定進行鑒定、校正或。潔凈室空氣潔凈度檢測測定之前必須對系統(tǒng)、潔凈室、機房等處進行全面清掃,在清掃和系統(tǒng)調整后必須連續(xù)運行一段時間,然后進行檢漏等項目的測定。

2、檢測點：根據(jù)標準，檢測凈化車間潔凈度時，檢測點應在距室內地面水平面1.00m以內；單向流式無塵凈化車間，測點數(shù)不應少于20個，測點間距為0.5 -2.0m。水平單向流量測點僅無布置；非單向流式無塵凈化車間按無塵凈化車間面積小于等于50m2布置5個測點。3、關于等速采樣：等速采樣是指在檢測過程中，粒子計數(shù)器的采樣管入口方向與被采樣單向氣流的方向一致，進入采樣管入口的空氣平均流速與該位置單向氣流的平均速度。  電子制造行業(yè)的加工過程規(guī)定防靜電和抗震動特性，房間內汽體品種繁多，因而電子無塵車間規(guī)定高純和潔凈度等級； *，室內空間設計的空噪聲不可過60db(A)； 次之，無塵車間室外負壓差不低于10pa，清潔區(qū)和非清潔區(qū)不低于5pa。 第三，電子加工業(yè)無塵車間布比卡因的有效分派。單邊流動性凈化室應大于40%，豎直流動性凈化室應低于60%。只能那樣布比卡因才可以遍布，不然它將變成部分單邊流動性。

電子行業(yè)廠房凈化檢測  電子制造行業(yè)的加工過程規(guī)定防靜電和抗震動特性，房間內汽體品種繁多，因而電子無塵車間規(guī)定高純和潔凈度等級； *，室內空間設計的空噪聲不可過60db(A)； 次之，無塵車間室外負壓差不低于10pa，清潔區(qū)和非清潔區(qū)不低于5pa。 第三，電子加工業(yè)無塵車間布比卡因的有效分派。單邊流動性凈化室應大于40%，豎直流動性凈化室應低于60%。只能那樣布比卡因才可以遍布，不然它將變成部分單邊流動性。

千級無塵車間的潔凈度標準是0.5微米的*容許粒子濃度小于35200（pc/m3),5微米的*容許粒子濃度小于2930(pc/m3)；百級車間的潔凈度標準是每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下?？梢钥闯鰸崈舳鹊燃壴礁叩能囬g，標準也更高，要求車間內的塵埃粒子數(shù)量更少，這樣無塵車間才能更潔凈。

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